高頻MEMS驅動測試在當今科學技術發展中應用越來越多，在物理學、半導體、光學、電子工程、材料工程、機械工程及生物工程等多種學科和技術中都有涉及。近日，某科研單位需要實現正弦波驅動，信號帶寬2MHz，驅動電壓需要達到150Vpp，目前市面上的標准信號發生器輸出電壓低、電壓小于10Vpp帶負載能力弱，輸出電流是mA級別。無法解決高壓大功率驅動問題。

如何解决高頻MEMS測試驅動問題

高頻MEMS核心器件主要是一种压电控制器件，主要是利用其压电效应和逆压电效应能够实现机械能与电能的转换,可以通过将压电控制器件在高頻电信号的激励下产生高頻振动,激发出超声波,可以通过压电控制器件接收超声波转换成电信号,从而实现超声信号转换。

高頻MEMS驅動方式一般为激振荡式驅動，利用方波（或脉冲）振荡器来激励发声。高頻MEMS主要工作在1MHz以上的频率上，电压需要100Vp-p左右，要求大輸出功率，市場上常規的信號發生器輸出電壓低，帶負載能力弱，功率放大器和信號發生器都需要具有高性能和高品質的輸出波形：一方面是良好的穩定性能，輸出波形失真�。瑏K且信號發生器還需要能産生多種波形信號；另一方面是良好的動態性能，調幅調頻方便，負載適應性好，此外有些測試除了需要信號發生器提供輸出電壓外，還需要功率輸出。

針對此次測試：Aigtek推出測試方案：信號發生器+功率放大器，信號發生器推薦的是泰克的AFG3000系列信號發生器，功率放大器推薦的是ATA-4315高壓功率放大器，信號發生器輸出電壓幅度只有5Vp-p，接上功率放大器，輸出電壓達到了150Vpp，功率最大105W，頻率範圍是DC-3MHz，可放大任意波形，输出阻抗可调整，可驅動各种阻性、容性、感性负载，完全满足驅動测试需求，功放输出信号直接加载到高頻MEMS器件上面，同時使用高分辨率示波器進行整個鏈路信號分析測試。

ATA-4315是一款理想的可放大交、直流信號的單通道高壓功率放大器。最大输出150Vp-p(±75Vp)电压，105Wp功率，可以驅動高压功率型负载。电压增益数控可调，一键保存常用设置，为您提供了方便简洁的操作选择，可与主流的信號發生器配套使用，实现信号的完美放大。

通道：單通道

電壓：最大輸出電壓150Vp-p（±75Vp）

電流：最大輸出電流 1Arms

帶寬：帶寬（-3dB）高達DC~3MHz

壓擺率：壓擺率 1000V/μs

更多應用測試方向：

信號發生器+功率放大器+示波器测试方案还可以应用在压电陶瓷驅動、传感器测试、超声波换能器驅動和无损检测、电磁阀和继电器驅動、MEMS控制驅動、无线充电测试等。

本文實驗素材由西安安泰電子整理發布，如想了解更多實驗方案，請持續關注安泰官網www.aigtek.com。Aigtek是國內專業從事測量儀器研發、生産和銷售的高科技企業，一直專注于功率放大器、功率放大器模塊、計量校准源等測試儀器産品的研發與制造。