實驗名稱：基于單端接觸原理的LED外延片無損檢測

　　實驗內容：基于單注入模式，使用新型檢測系統獲取LED外延片的電學參數與光學參數。

　　研究方向：LED外延片檢測

　　測試設備：光譜儀、函數信號發生器、ATA-2161高壓放大器、顯微鏡及成像系統、示波器、電腦等。

　　實驗過程：

　　圖1：實驗裝置原理圖

　　首先對LED外延片進行光致發光（PL）測試，通過光譜儀獲取峰值波長。然後，將測試設備按圖1所示連接完畢後，將待測LED外延片放置在ITO玻璃上，緩慢下降探針，直至LED外延片産生電致發光現象。通過光譜儀獲取峰值波長，示波器獲取電學參數。最後，使用傳統的電致發光（針測）對LED外延片進行測試。在保證光譜儀軟件顯示的相對強度在一致或接近時，獲取LED外延片的電學參數和光學參數。

　　實驗結果：

　　圖2：SC-EL所獲得的光學參數與針測所獲得的光學參數

　　圖3：SC-EL所獲得的光學參數與針測所獲得的光學參數

　　由于针测获得的数据最具有可靠性，因此将其作为标准值来比较PL测试与单端接触电致发光（SC-EL）测试所获得数据的准确性。实验结果表明，SC-EL所獲得的光學參數與針測所獲得的光學參數更加接近并且不会对LED外延片造成机械性损伤（如图2、图3所示）。此外，SC-EL所获取的电学参数与针测所获取的电学参数（反向漏电流）具有同样的趋势，可以反映針測所獲取數據的水平（如图4所示）。

　　圖4：針測所獲取數據的水平

　　高壓放大器推薦：ATA-2161

　　圖：ATA-2161高壓放大器指標參數

　　本资料由Aigtek安泰电子整理发布，更多案例及产品详情请持续关注我们。西安安泰电子Aigtek已经成为在业界拥有广泛产品线，且具有相当规模的仪器设备供应商，样机都支持免費試用。如想了解更多功率放大器等产品，请持续关注安泰电子官网www.aigtek.com或拨打029-88865020。